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发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54122973(A) 申请公布日期 1979.09.22
申请号 JP19780030136 申请日期 1978.03.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TATSUTA SHIGERU;SAKURAI TERUO
分类号 H01L21/76;H01L21/265 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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