发明名称 PRODUCTION OF TYPE SILICON NITRIDE
摘要
申请公布号 JPS54120299(A) 申请公布日期 1979.09.18
申请号 JP19780027471 申请日期 1978.03.10
申请人 DENKI KAGAKU KOGYO KK 发明人 IMAMURA YASUO;IDE MASARU
分类号 C01B21/068 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
主权项
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