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发明名称
摘要
申请公布号
DE1953712(B2)
申请公布日期
1979.09.06
申请号
DE19691953712
申请日期
1969.10.24
申请人
THOMSON-BRANDT, PARIS
发明人
CAHEN, OLIVIER;PIRCHER, GEORGES;PICQUENDAR, JEAN EDGAR, ST. REMY- LES-CHEVREUSES
分类号
G05D3/20;H01J37/20;H01J37/304;H01L21/68;(IPC1-7):H01J37/30;H01J3/10;H01L21/31
主分类号
G05D3/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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