发明名称 METHOD OF FORMING PHOTORESIST FILM
摘要
申请公布号 JPS5497782(A) 申请公布日期 1979.08.02
申请号 JP19780004922 申请日期 1978.01.19
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 TACHIKI SHIGEMI
分类号 H05K3/06;H01L27/01;H01L49/02;H05K3/00;H05K3/18 主分类号 H05K3/06
代理机构 代理人
主权项
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