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发明名称 PHOTORESIST
摘要
申请公布号 GB1548583(A) 申请公布日期 1979.07.18
申请号 GB19760019875 申请日期 1976.05.13
申请人 GAF CORP 发明人
分类号 G03C1/72;G03F7/023;G03F7/038;G03F7/26;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/52 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
主权项
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