| 发明名称 |
METAL FILM DEPOSITING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5487683(A) |
申请公布日期 |
1979.07.12 |
| 申请号 |
JP19770155621 |
申请日期 |
1977.12.26 |
| 申请人 |
ULVAC CORP |
发明人 |
INAGAWA KOUNOSUKE;NAKAMURA KAZUO;KOMIYA MUNEHARU |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/22;C23C14/32;C23C14/50;C23C30/00 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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