发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG KRUEMMUNGSFREIER,POLIERTER HALBLEITEREINKRISTALLSCHEIBEN
摘要
申请公布号 DD136560(A1) 申请公布日期 1979.07.11
申请号 DD19780205345 申请日期 1978.05.12
申请人 KALINNA,HELMUT,DD;LINKE,HORST,DD;ROSIN,HORST,DD;ZACH,DIETRICH,DD 发明人 KALINNA,HELMUT,DD;LINKE,HORST,DD;ROSIN,HORST,DD;ZACH,DIETRICH,DD
分类号 H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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