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VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG KRUEMMUNGSFREIER,POLIERTER HALBLEITEREINKRISTALLSCHEIBEN
摘要
申请公布号
DD136560(A1)
申请公布日期
1979.07.11
申请号
DD19780205345
申请日期
1978.05.12
申请人
KALINNA,HELMUT,DD;LINKE,HORST,DD;ROSIN,HORST,DD;ZACH,DIETRICH,DD
发明人
KALINNA,HELMUT,DD;LINKE,HORST,DD;ROSIN,HORST,DD;ZACH,DIETRICH,DD
分类号
H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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