发明名称 |
Verfahren zum Herstellen eines gut haftenden Kontaktes mit Aluminium an einem Siliziumhalbleiterkoerper |
摘要 |
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申请公布号 |
DE1288690(B) |
申请公布日期 |
1969.02.06 |
申请号 |
DE1966D050748 |
申请日期 |
1966.08.03 |
申请人 |
DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GMBH |
发明人 |
HEINKE;WOLFGANG DIPL.-PHYS.;WEINERTH;HANS DR. |
分类号 |
C23C14/02;H01L21/00;H01L21/285;H01L21/306 |
主分类号 |
C23C14/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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