发明名称 Verfahren zum Herstellen eines gut haftenden Kontaktes mit Aluminium an einem Siliziumhalbleiterkoerper
摘要
申请公布号 DE1288690(B) 申请公布日期 1969.02.06
申请号 DE1966D050748 申请日期 1966.08.03
申请人 DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GMBH 发明人 HEINKE;WOLFGANG DIPL.-PHYS.;WEINERTH;HANS DR.
分类号 C23C14/02;H01L21/00;H01L21/285;H01L21/306 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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