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发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER HALBLEITERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE2856147(A1) 申请公布日期 1979.07.05
申请号 DE19782856147 申请日期 1978.12.27
申请人 FUJITSU LTD. 发明人 NISHIMOTO,KEIJI,DIPL.-ING.;TANAKA,SHINPEI,DIPL.-ING.
分类号 H01L21/768;H01L21/28;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/28;H01L29/78 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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