发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5483784(A) 申请公布日期 1979.07.04
申请号 JP19770151967 申请日期 1977.12.16
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 UNO TAKASHI
分类号 H01L21/86;H01L21/84 主分类号 H01L21/86
代理机构 代理人
主权项
地址