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发明名称 OPERATING METHOD OF PLASMA TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS5477573(A) 申请公布日期 1979.06.21
申请号 JP19770135091 申请日期 1977.11.10
申请人 SONY CORP 发明人 MIFUNE TADAYOSHI;NAKANE YASUAKI
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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