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经营范围
发明名称
DEVICE FOR SEARCHING ELECTRON BEAM FOR ELECTRON BEAM DEVICE AND METHOD OF DRIVING SAME
摘要
申请公布号
JPS5474377(A)
申请公布日期
1979.06.14
申请号
JP19780117823
申请日期
1978.09.25
申请人
SIEMENS AG
发明人
HANSUPEETAA FUOIERUBAUMU
分类号
H01J37/147;H01J37/04;H01J37/28;H01L21/027
主分类号
H01J37/147
代理机构
代理人
主权项
地址
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