发明名称 DEVICE FOR SEARCHING ELECTRON BEAM FOR ELECTRON BEAM DEVICE AND METHOD OF DRIVING SAME
摘要
申请公布号 JPS5474377(A) 申请公布日期 1979.06.14
申请号 JP19780117823 申请日期 1978.09.25
申请人 SIEMENS AG 发明人 HANSUPEETAA FUOIERUBAUMU
分类号 H01J37/147;H01J37/04;H01J37/28;H01L21/027 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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