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发明名称 FORMATION METHOD OF ELECTRODE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5472959(A) 申请公布日期 1979.06.11
申请号 JP19770139995 申请日期 1977.11.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAWANOBE TOORU
分类号 H01L21/60;H01L21/28;H01L21/306;H01L21/3063 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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