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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5469964(A) 申请公布日期 1979.06.05
申请号 JP19770136971 申请日期 1977.11.15
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 HARADA NOZOMI;HORIIKE YASUHIRO
分类号 H01L21/322;H01L21/318;H01L21/324 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
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