| 发明名称 |
PROCESSO PERFEZIONATO PER LAPRODUZIONE DI DEPOSITI EPITASSIALI. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT7923198(D0) |
申请公布日期 |
1979.06.01 |
| 申请号 |
IT19790023198 |
申请日期 |
1979.06.01 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINS CORP. |
发明人 |
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| 分类号 |
C30B25/02;C30B29/06;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/74;H01L29/78;(IPC1-7):C30B/ |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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