发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5460237(A) 申请公布日期 1979.05.15
申请号 JP19770126934 申请日期 1977.10.21
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ISHIKURA HIDENOBU;HARADA HIROTSUGU;SATOU SHINICHI;YAKUSHIJI HISAO
分类号 H01L21/302;C23C16/34;C23F1/02;C23F4/00;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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