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发明名称
ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPS5460237(A)
申请公布日期
1979.05.15
申请号
JP19770126934
申请日期
1977.10.21
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
ISHIKURA HIDENOBU;HARADA HIROTSUGU;SATOU SHINICHI;YAKUSHIJI HISAO
分类号
H01L21/302;C23C16/34;C23F1/02;C23F4/00;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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