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发明名称
摘要
申请公布号 FR2351496(B1) 申请公布日期 1979.03.23
申请号 FR19760014065 申请日期 1976.05.11
申请人 RADIOTECHNIQUE COMPELEC 发明人
分类号 C23C14/26;H01J37/30;H01R4/50;H05B3/06;(IPC1-7):H01J37/20;H01J9/14 主分类号 C23C14/26
代理机构 代理人
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