发明名称 광화학적 증착방법 및 장치
摘要 내용 없음
申请公布号 KR830008409(A) 申请公布日期 1983.11.18
申请号 KR19810004788 申请日期 1981.12.08
申请人 null, null 发明人 존 더블유 피터즈;프랭크 엘. 게브하트
分类号 B01J19/12;C23C16/04;C23C16/48;H01L21/205;H01L21/268;H01L21/31;H01L21/318 主分类号 B01J19/12
代理机构 代理人
主权项
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