发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5410688(A) 申请公布日期 1979.01.26
申请号 JP19770075818 申请日期 1977.06.24
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OOSAKI SABUROU
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址
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