| 发明名称 |
MEASURING METHOD OF SEMICONDUCTOR THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS547878(A) |
申请公布日期 |
1979.01.20 |
| 申请号 |
JP19770073622 |
申请日期 |
1977.06.20 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRONICS CORP |
发明人 |
NAKAGAWA KATSUNOBU;TAKAHASHI HIDEAKI |
| 分类号 |
G01R27/00;G01B21/08;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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