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发明名称 VERFAHREN ZUR STEUERUNG VON ENTWICKLUNGS- ODER AETZVORGAENGEN
摘要
申请公布号 DE2728361(A1) 申请公布日期 1979.01.11
申请号 DE19772728361 申请日期 1977.06.23
申请人 IBM DEUTSCHLAND GMBH 发明人 MORITZ,HOLGER
分类号 H05K3/06;C23F1/02;G01B11/00;G03F7/30;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H05K3/06
代理机构 代理人
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