发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS542659(A) |
申请公布日期 |
1979.01.10 |
申请号 |
JP19770067254 |
申请日期 |
1977.06.09 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
IHARA MASARU;YAMAWAKI HIDEKI |
分类号 |
H01L27/00;C30B25/18;C30B29/06;C30B29/20;H01L21/205;H01L21/86 |
主分类号 |
H01L27/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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