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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5344311(B2) 申请公布日期 1978.11.28
申请号 JP19740063575 申请日期 1974.06.04
申请人 发明人
分类号 C30B19/00;H01L21/208;H01L33/30 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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