| 发明名称 |
EXFOLIATING UNIT OF SEMICONDUCTOR CHIP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS53135280(A) |
申请公布日期 |
1978.11.25 |
| 申请号 |
JP19770050432 |
申请日期 |
1977.04.30 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
TACHIKAWA TOORU;BANJIYOU TOSHINOBU;ITOU EIZOU;OGURA MASAHISA |
| 分类号 |
H01L21/67;H01L21/302;H01L21/52;H01L21/58 |
主分类号 |
H01L21/67 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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