发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53124090(A) 申请公布日期 1978.10.30
申请号 JP19770039216 申请日期 1977.04.05
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YAMANO TAKESHI;KAWAZU SATORU
分类号 H01L29/78;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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