发明名称 ARRANGEMENT FOR CHECKING PHOTOMASK DIMENSIONS
摘要
申请公布号 SU627314(A1) 申请公布日期 1978.10.05
申请号 SU19772480943 申请日期 1977.04.29
申请人 VLADIMIROV STANISLAV N,SU;PETUKHOV ALEKSANDR N,SU;SAVIN ANATOLIJ ,SU;SHATS YAKOV B,SU 发明人 VLADIMIROV STANISLAV N,SU;PETUKHOV ALEKSANDR N,SU;SAVIN ANATOLIJ ,SU;SHATS YAKOV B,SU
分类号 G01B11/02;(IPC1-7):G01B11/02 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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