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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5332531(Y2) 申请公布日期 1978.08.11
申请号 JP19760066742U 申请日期 1976.05.24
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;B65D85/86;H01L21/66;H01L21/68;H01L23/32;H01R33/76;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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