发明名称 IIL TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要 PURPOSE:To reduce the variations in mean gate delay time and provide an IIL of a uniform quality by controlling the spacing of an epitaxial layer.
申请公布号 JPS5385182(A) 申请公布日期 1978.07.27
申请号 JP19770000047 申请日期 1977.01.05
申请人 HITACHI LTD 发明人 USAMI MITSUO
分类号 H01L21/8226;H01L21/331;H01L27/02;H01L27/082;H01L29/73 主分类号 H01L21/8226
代理机构 代理人
主权项
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