| 发明名称 |
PATTERN INSPECTING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5385374(A) |
申请公布日期 |
1978.07.27 |
| 申请号 |
JP19760158052 |
申请日期 |
1976.12.31 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
NAKASHIMA MASAHITO;FUJIWARA KATSUMI;GOTOU YOSHIAKI |
| 分类号 |
H05K3/00;G01B11/00;G01B11/24;G01B11/245;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/956;G03F1/84;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/66 |
主分类号 |
H05K3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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