发明名称 URZADZENIE KASETOWE DO WIELOPLYTOWEJ EPITAKSJI Z FAZY CIEKLEJ
摘要
申请公布号 PL195228(A1) 申请公布日期 1978.07.17
申请号 PL19770195228 申请日期 1977.01.10
申请人 INST TECH ELEKTRONOWEJ 发明人 PASTUSZKA BOGDAN
分类号 H01L;H01L21/368;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L
代理机构 代理人
主权项
地址