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发明名称 DUENNSCHICHT-AETZVERFAHREN DURCH PLASMAZERSETZUNG EINES GASES
摘要
申请公布号 DE2800180(A1) 申请公布日期 1978.07.13
申请号 DE19782800180 申请日期 1978.01.03
申请人 ALSTHOM-ATLANTIQUE S.A. 发明人 BOURDON,BERNARD
分类号 H01J37/32;H01L21/00;H01L21/311;(IPC1-7):C23C15/00;B23K28/00 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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