发明名称 BORON DEPOSITION METHOD
摘要
申请公布号 JPS5377465(A) 申请公布日期 1978.07.08
申请号 JP19760155801 申请日期 1976.12.20
申请人 SANYO ELECTRIC CO;TOKYO SANYO ELECTRIC CO 发明人 ITOU NOBUO
分类号 C23C14/08;H01L21/22 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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