发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING PN JUNCTIONS |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS5375872(A) |
申请公布日期 |
1978.07.05 |
申请号 |
JP19760150941 |
申请日期 |
1976.12.17 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TATEFURU NOBORU;INABA KEIZOU |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/22;H01L21/331;H01L29/72 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|