发明名称 MICROWAVE LEADDIN FLANGE
摘要 PURPOSE:To enhance the propagation efficiency of the microwave ion source for the ion injecting machine, by improving the impedance matching for the microwave propagation line.
申请公布号 JPS5372550(A) 申请公布日期 1978.06.28
申请号 JP19760147794 申请日期 1976.12.10
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOIKE HIDEKI;SAKUMICHI KUNIYUKI;TOKIKUCHI KATSUMI;SHIKAMATA ICHIROU
分类号 H01P1/04;H01J23/36;H01J23/40 主分类号 H01P1/04
代理机构 代理人
主权项
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