发明名称 |
MICROWAVE LEADDIN FLANGE |
摘要 |
PURPOSE:To enhance the propagation efficiency of the microwave ion source for the ion injecting machine, by improving the impedance matching for the microwave propagation line. |
申请公布号 |
JPS5372550(A) |
申请公布日期 |
1978.06.28 |
申请号 |
JP19760147794 |
申请日期 |
1976.12.10 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KOIKE HIDEKI;SAKUMICHI KUNIYUKI;TOKIKUCHI KATSUMI;SHIKAMATA ICHIROU |
分类号 |
H01P1/04;H01J23/36;H01J23/40 |
主分类号 |
H01P1/04 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|