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发明名称 CONTINOUS WAFER MOLDING UNIT
摘要
申请公布号 JPS5352057(A) 申请公布日期 1978.05.12
申请号 JP19760127019 申请日期 1976.10.22
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 KAWANABE ASAJI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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