发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5350976(A) 申请公布日期 1978.05.09
申请号 JP19760126578 申请日期 1976.10.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAGANO KAZUTOSHI;NAKASHIMA TATSUNORI;KAJIWARA KOUSEI
分类号 H01L21/316;H01L21/31 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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