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发明名称 LOWWHIGH TEMPERATURE TESTING STATION
摘要
申请公布号 JPS5350982(A) 申请公布日期 1978.05.09
申请号 JP19760125864 申请日期 1976.10.20
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ODA YUKIO;MATSUDA ZENJI
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01L23/38;H01L27/02 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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