发明名称 PROCEDE DE FABRICATION DE TRANSISTORS BIPOLAIRES ET DE TRANSISTORS A EFFET DE CHAMP SUR LA MEME PLAQUETTE SEMICONDUCTRICE
摘要 Procédé de fabrication de transistors bipolaires et de transistors à effet de champ sur la même plaquette semi-conductrice, isolés par des régions diélectriques.Le procédé comprend le décapage d'ouvertures appropriées dans le substrat silicium 10 pour former les régions d'isolation 54, 55 et 57 qui séparent les dispositifs à effet de champ tels que 50 des dispositifs bipolaires 52. Les dispositifs sont du type NPN à socle et ils comprennent un collecteur 36, une base 34 et un émetteur 83, ce dernier est formé simultanément avec les régions source et drain 66 et 67 des dispositifs à effet de champ.Ce procédé qui évite l'utilisation d'une couche épitaxiale est d'application intéressante à l'industrie des semi-conducteurs.
申请公布号 FR2367349(A1) 申请公布日期 1978.05.05
申请号 FR19770025999 申请日期 1977.08.19
申请人 IBM 发明人 SHAKIR A. ABBAS ET ROBERT CH. DOCKERTY;DOCKERTY ROBERT CH
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/762;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/73;(IPC1-7):01L21/76;01L27/04 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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