发明名称 GAS CLEANING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5348282(A) 申请公布日期 1978.05.01
申请号 JP19760122883 申请日期 1976.10.15
申请人 EE PII WAARUDO KK 发明人 NAKANE TADAAKI;IOKA SEIJI
分类号 B03C3/60;B03C3/41;B03C3/45 主分类号 B03C3/60
代理机构 代理人
主权项
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