| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5320862(A) |
申请公布日期 |
1978.02.25 |
| 申请号 |
JP19760094878 |
申请日期 |
1976.08.11 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SHIMIZU HIROBUMI;AOSHIMA TAKAAKI;YOSHINAKA AKIRA;SUGITA YOSHIMITSU |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/316;H01L21/324;H01L21/329;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/74 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
