发明名称 MULTILAYER WIRING STRUCTURE
摘要 PURPOSE:To make adhesiveness firm and prevent the delamination of wiring layers by interposing a polyimide layer mixed with fine powder of SiO2 or Al2O3 between wiring layers and polyimide resin being an interlayer insulation film.
申请公布号 JPS5315786(A) 申请公布日期 1978.02.14
申请号 JP19760089106 申请日期 1976.07.28
申请人 发明人
分类号 H05K3/46;H01L21/283;H01L21/768;H01L23/522;H05K1/00 主分类号 H05K3/46
代理机构 代理人
主权项
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