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发明名称 STEP AND REPEAT MACHINE POSITIONING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS5315910(A) 申请公布日期 1978.02.14
申请号 JP19760089307 申请日期 1976.07.27
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND;IWASAKI ELECTRIC CO LTD 发明人 SUZUKI YOSHINORI;FURUKAWA SHIGEKAZU;KOMATSU YOSHIO
分类号 G03F9/00;G03F7/22 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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