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发明名称
ELECTRODE FORMATION METHOD
摘要
申请公布号
JPS533066(A)
申请公布日期
1978.01.12
申请号
JP19760076449
申请日期
1976.06.30
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
MIZOGUCHI TAKAMA
分类号
H01L21/768;H01L21/28
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
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