发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON HALBLEITERANORDNUNGEN
摘要
申请公布号 DE2725095(A1) 申请公布日期 1978.01.12
申请号 DE19772725095 申请日期 1977.06.03
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 LA MONEDA,FRANCISCO H. DE
分类号 H01L29/73;H01L21/033;H01L21/266;H01L21/306;H01L21/312;H01L21/3205;H01L21/331;H01L21/338;H01L21/74;H01L23/52;H01L29/732;H01L29/80;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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