Verbundschichtenbauart einer Sensorvorrichtung für Mehrfachmessungen

摘要

Zur Erhöhung der Messgenauigkeit wird eine Verbundschichtenbauart einer Sensorvorrichtung bereitgestellt. Die Vorrichtung umfasst eine Vielzahl von Festkörperelektrolytplatten und eine erste, zweite und dritte elektrochemische Zelle. Jede Zelle umfasst ein auf den Festkörperelektrolytplatten angeordnetes einzelnes Elektrodenpaar. Eine Gaskonzentration, die aus einem auf der Grundlage von Sauerstoffpumpung durch die erste elektrochemische Zelle vorverarbeiteten zu messenden Gas spezifiziert ist, wird durch die zweite elektrochemische Zelle erfasst. Eine Differenz bei der elektromotorischen Kraft zwischen dem zu messenden Gas und einem Referenzgas wird durch die dritte elektrochemische Zelle erfasst. Das einzelne Elektrodenpaar der dritten elektrochemischen Zelle ist auf derselben Oberfläche auf einer der Festkörperelektrolytplatten angeordnet, und sowohl die erste als auch die dritte elektrochemische Zelle sind mit unterschiedlichen Festkörperelektrolytplatten angeordnet.