| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52150972(A) |
申请公布日期 |
1977.12.15 |
| 申请号 |
JP19760068077 |
申请日期 |
1976.06.10 |
| 申请人 |
NIPPON ELECTRIC CO;NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE |
发明人 |
HAMANO KUNIO;IMAI KAZUO |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/31;H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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