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发明名称
DEPOSITION PROCESS FOR TITANIUM NITRIDE COATING FILM
摘要
申请公布号
JPS52149281(A)
申请公布日期
1977.12.12
申请号
JP19760066334
申请日期
1976.06.07
申请人
NISHIDA TSUNEO
发明人
NISHIDA TSUNEO
分类号
A44C5/00;C23C14/06
主分类号
A44C5/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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