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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52146562(A) 申请公布日期 1977.12.06
申请号 JP19760063201 申请日期 1976.05.31
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 IMAI MITSURU
分类号 H01L21/60;H01L23/50 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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