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发明名称 HEAT TREATMENT METHOD OF SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号 JPS52143758(A) 申请公布日期 1977.11.30
申请号 JP19760060026 申请日期 1976.05.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 MOGI TOSHIJI
分类号 H01L21/22;H01L21/68 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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