| 发明名称 |
PROCEDE DE FORMATION DE CONDUCTEURS DE TRAVERSEE DANS DES SYSTEMES METALLIQUES D'INTERCONNEXION A NIVEAU MULTIPLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2349957(A1) |
申请公布日期 |
1977.11.25 |
| 申请号 |
FR19770006018 |
申请日期 |
1977.02.24 |
| 申请人 |
IBM |
发明人 |
BAI C. FENG ET JOHN S. LECHATON |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/306;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):01L21/90;01L23/52 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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